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| 优質邏輯檢測能力 |  |
| 檢測參數全自動設定，手動微調參數靈活易搭配。 | |
| 不良畫面自動快速瀏覽功能，節省作業時間。 | |
| 玻璃光罩檢測專用架，快速設計調整方便容易。 | |
| Design Rule Check与MDF（模型對比）相輔，避免過多的假點与銳角。 | |
| 雙SCSI硬碟，雙作業系統，硬碟或作業系統故障時即時切換，机台不停滯。 | |
| TSL-FVT-DX/TSL-FVT-DX II檢查方式： | |
| 1. 標准模式-邏輯判斷（DRC） | |
| 2. 參考資料比對模式（Data Reference）-a.网路比對 b.影像比對 |
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 全自動核心檢測參數設定 |
玻璃光罩檢測作業示范 |
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所有不同類型缺點以不同顏色方框顯示 |
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| 圖形相似度比對技術可防止設計性銳角檢出 | |
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| 模型比對開啟前 |
模型比對開啟后 |
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| TSL-FVT-DX / TSL-FVT-DXII檢查方式 | |
| 高精度量測功能及高性能元件設計 | 主要規格及性能 | |