機型

TSL-FVT-DX

TSL-FVT-DXⅡ

TSL-FVT-DXⅡ Super

CCD規格

780 x 582 Pixe

1004 x 1004 Pixel

TFT監視器

19吋

20吋

解析度範圍

2um~11um

1.8um~9.8um

0.9um~3um

檢查能力
(線寬/線距尺寸)

20um

10um

P/S量測功能
(精度：±1pixel)

最小線寬線距量測
25um/1mil

最小線寬線距量測
20um/0.8mil

最小線寬線距量測
10um/0.4mil

PAD量測功能

(精度：±1pixel)

最小尺寸0.04x0.04mm(1.6x1.6mil)
最大尺寸5.0x5.0mm(200x200mil)

0.04x0.04mm(1.6x1.6mil)7.80x7.80m(312x312mil)

0.02x0.02mm(0.8x0.8mil)
2.0x2.0mm(80x80mil)

檢查速度
檢查區域尺寸:
A3 Size

11um(0.430mil)/ pixel:1min 15sec
3um(0.118mil)/pixel:<12min

3um(0.118mil)/pixel:<8min

電腦系統

WinXP-P作業系統

CPU:2.8Ghz / RAM:1GB

 SCSI HD:34Gb x 2

WinXP-P作業系統CPU:3Ghz / RAM:2GB

SCSI HD:34Gb x 2

WinXP-P作業系統

CPU:3Ghz / RAM:2GB

SCSI HD:70Gb x 2

缺點儲存方式

RAM 1200張以上
HDD 8000張

RAM 1200張以上
HDD 10000張

RAM 1200張以上
HDD 12000張

檢查底片種類

黑色及棕淡色膠質底片、玻璃底片

檢測範圍

放置面積 794 x 679mm (31.2 x 26.7 inch)
有效取像範圍 710 x 580mm (27.9 x 22.8 inch)

缺點檢出種類

斷線、針孔、污點、磨傷痕、線路缺口
線路凸出、異物附著、水漬陰影、線寬細小異常

缺點顯示方式

多種色彩方框分類顯示缺點於畫面
圓形框印標記於底片、統計已標記總數顯示

外型尺寸/重量

L 1550 x W 1350 x H1600 (mm) / 約550kg

裝機需求面積

W 2400 x D 2500 (mm)

電源/電力需求

110/220 Volt (50/60Hz) 1 Phase / 3KVA 以下

工作環境

溫度：攝氏15 ~ 30度、溼度：35% ~ 70%

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長距離量測

NA

Repetition Precision：±(RP+0.01mm)
RP：Image Resolution

軟體

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標準資料比對

NA

掃描影像與標準資料(Gerber RS274X)進行比對尋找相異處

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玻璃光罩承載座

1.X,Y尺寸可調整               2.最小光罩放置尺寸152x152mm(6x6inch)
3.平面高度四邊可調整       4.最大光罩放置尺寸610x508mm(24x20inch)

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消耗材料

氙燈燈泡 / 圓框印及補充液